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发明名称 Processing of silicon
摘要
申请公布号 US2808315(A) 申请公布日期 1957.10.01
申请号 US19560559258 申请日期 1956.01.16
申请人 BELL TELEPHONE LABORATORIES, INCORPORATED 发明人 BEMSKI GEORGE
分类号 C01B33/02;C22F3/00;H01L21/00;H01L21/22;H01L21/324 主分类号 C01B33/02
代理机构 代理人
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