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Ein Beschleunigungssensor umfasst ein Substrat (1) und mehrere Beschleunigungserfassungseinheiten (10), die durch das Substrat (1) gehaltert sind. Jede der mehreren Beschleunigungserfassungseinheiten (10) weist einen Torsionsträger (11, 12), der durch das Substrat (1) gehaltert ist und um eine Torsionsachsenlinie (T1, T2) verwunden wird; einen Erfassungsrahmen (21, 22), der so durch den Torsionsträger (11, 12) gehaltert ist, dass er sich um die Torsionsachsenlinie (T1, T2) drehen kann; eine Erfassungselektrode (40), die auf dem Substrat (1), dem Erfassrahmen (21, 22) zugewandt ausgebildet ist; einen Verbindungsträger (31, 32), der durch den Erfassungsrahmen (21, 22) an einer Stelle auf einer Achsenlinie gehaltert ist, die in der Ebene gesehen von der Torsionsachsenlinie (T1, T2) abweicht; und einen Trägheitsmassenkörper (2) auf, der so durch den Verbindungsträger (31, 32) gehaltert ist, dass er sich in einer Dickenrichtung des Substrats (1) verlagern kann. Die mehreren Beschleunigungserfassungseinheiten (10) umfassen eine erste und zweite Beschleunigungserfassungseinheit (10). Die erste und zweite Beschleunigungserfassungseinheit (10) sind Seite an Seite in einer Richtung der Torsionsachsenlinie (T1) angeordnet. Dadurch kann ein hochpräziser Beschleunigungssensor erzielt werden, der eine Schwingung mit einer hohen Frequenz und einer hohen Beschleunigung unterdrückt.
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