METHOD FOR LOADING AND UNLOADING A CASSETTE

摘要

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Belade- und Entladeverfahren für eine Prozesskassette, die z, B. bei Plasmabeschichtungsprozessen eingesetzt wird, wobei nachfolgende Verfahrensschritte durchgeführt werden: a. Bereitstellen einer mittels eines Demontage- und Montage-Roboters demontierbaren und montierbaren Prozesskassette (1), b. automatisches Demontieren der Prozesskassette derart, dass die Böden (2) der Prozesskassette separiert vorliegen, c. Zuführen und Zuordnen der Böden (2) zu wenigstens einem Bestückungsautomaten, der die Böden (2) mit zu bearbeitenden Werkstücken bestückt, d. Montieren der bestückten Böden (2) zu der Prozesskassette (1), e. Zuführen der Prozesskassette (1) zu dem Prozessort, an dem der Prozess durchgeführt werden soll, f. Durchführen des Prozesses, g. Zuführen der Prozesskassette (1) zu dem Demontage- und Montage-Roboter oder einem weiteren Demontage- und Montage-Roboter, h. Demontieren der Prozesskassette derart, dass die Böden (2) der Prozesskassette separiert vorliegen und i. automatisches Entnehmen der bearbeiteten Werkstücke.