Beschichtungsverfahren, Schichtsystem sowie Verglasungselement

摘要

Die Erfindung betrifft insbesondere ein Beschichtungsverfahren für eine Substratoberfläche nitridischer Beschaffenheit. Zur Steigerung der chemischen und mechanischen Resistenz wird vorgeschlagen, auf die nitridische Substratoberfläche zumindest eine erste Schicht der Kategorie oxidisch, unteroxidisch, oxinitridisch, unteroxinitridisch oder nitridisch, und auf die zumindest eine erste Schicht eine zweite Schicht aus einem Zink-Zinn-Mischoxid abzuscheiden.