发明名称 Verfahren zum Steuern der Zusammensetzung eines photovoltaischen Dünnfilms
摘要 Ein Verfahren zum Verringern des Verlusts von Elementen einer photovoltaischen Dünnfilmstruktur während eines Temperverfahrens umfasst das Aufbringen eines Dünnfilms auf ein Substrat, wobei der Dünnfilm ein einzelnes chemisches Element oder eine chemische Verbindung umfasst, Überziehen des Dünnfilms mit einer Schutzschicht, um eine überzogene Dünnfilmstruktur zu bilden, wobei die Schutzschicht verhindert, dass ein Teil des einzelnen chemischen Elements oder ein Teil der chemischen Verbindung während eines Temperverfahrens entweicht, und Tempern der überzogenen Dünnfilmstruktur, um eine überzogene photovoltaische Dünnfilmstruktur zu bilden, wobei der überzogene photovoltaische Dünnfilm den Teil des einzelnen chemischen Elements oder den Teil der chemischen Verbindung, der von der Schutzschicht am Entweichen während des Temperns gehindert wird, behält.
申请公布号 DE112010003603(T5) 申请公布日期 2012.08.23
申请号 DE201011003603T 申请日期 2010.08.19
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 VAIDYANATHAN, RAMAN;DELIGIANNI, HARIKLIA;HOVEL, HAROLD JOHN
分类号 H01L31/18;H01L31/032;H01L31/0336 主分类号 H01L31/18
代理机构 代理人
主权项
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