Verflochtener vertikaler Parallelkondensator

摘要

Eine verflochtene Struktur kann mindestens eine erste Metallleitung, mindestens eine zweite Metallleitung, die parallel zu der mindestens einen ersten Metallleitung verläuft und von der mindestens einen ersten Metallleitung getrennt ist, und eine dritte Metallleitung umfassen, die mit Enden der mindestens einen ersten Metallleitung in Kontakt steht und von der mindestens einen zweiten Metallleitung getrennt ist. Die mindestens eine erste Metallleitung steht vertikal mit keiner Metalldurchkontaktierung in Kontakt, und mindestens eine zweite Metallleitung kann vertikal mit mindestens einer Metalldurchkontaktierung in Kontakt stehen. Mehrere Schichten verflochtener Strukturen können vertikal gestapelt sein. Alternativ kann eine verflochtene Struktur mehrere erste Metallleitungen und mehrere zweite Metallleitungen umfassen, wobei keine Metallleitung vertikal mit einer Metalldurchkontaktierung in Kontakt steht. Mehrere Einheiten einer verflochtenen Struktur können sich seitlich wiederholen und einander benachbart sein, mit oder ohne Drehung, und/oder vertikal gestapelt sein, um einen Kondensator zu bilden.