一种用于PECVD装置的悬臂式推拉舟系统

摘要

本发明公开一种用于PECVD设备的悬臂式推拉舟系统，包括悬臂杆机构、侧面连接机构和滚动直线导套副机构，用于作为悬臂杆机构水平运动和垂直运动导向的滚动直线导套副机构设于PECVD设备的机架上，悬臂杆机构固定于侧面连接机构上，侧面连接机构与滚动直线导套副机构连接，滚动直线导套副机构包括固定板、水平传动组件和垂直传动组件，通过水平传动组件和垂直传动组件分别控制悬臂杆机构带动原料进行水平运动和垂直运动。本悬臂式推拉舟系统采用由悬臂杆伸入反应腔取放石墨舟的形式，可简化输送系统，提高输送效率；采用侧面固定的形式，可避免石墨舟上硅片碎片掉落到系统上，影响系统正常动作，并可节省空间，可实现多推拉舟同时运动。

主权项

一种用于PECVD设备的悬臂式推拉舟系统，包括悬臂杆机构，其特征在于，还包括侧面连接机构和滚动直线导套副机构，用于作为悬臂杆机构水平运动和垂直运动导向的滚动直线导套副机构设于PECVD设备的机架上，悬臂杆机构固定于侧面连接机构上，侧面连接机构与滚动直线导套副机构连接。