发明名称 |
一种LED芯片及其相应的制作方法 |
摘要 |
本发明提出一种LED芯片,至少包括:外延层,所述外延层包括N型层、位于所述N型层上的发光层、及位于所述发光层上的P型层;金属功能层,所述金属功能层位于所述P型层上;银迁移阻挡层,所述银迁移阻挡层位于所述P型层上,且位于所述金属功能层外围。本发明还提供了LED芯片的制作方法,以解决反射镜层的扩散和电迁移,改善LED的可靠性。 |
申请公布号 |
CN102646765A |
申请公布日期 |
2012.08.22 |
申请号 |
CN201210135397.6 |
申请日期 |
2012.05.03 |
申请人 |
杭州士兰明芯科技有限公司 |
发明人 |
张昊翔;封飞飞;高耀辉;万远涛;金豫浙;李东昇;江忠永 |
分类号 |
H01L33/00(2010.01)I;H01L33/44(2010.01)I |
主分类号 |
H01L33/00(2010.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 |
代理人 |
郑玮 |
主权项 |
一种LED芯片的制作方法,其特征在于,包括如下步骤:提供一衬底,在所述衬底的表面上形成外延层,所述外延层由下至上依次沉积包含有N型层、发光层和P型层;刻蚀P型层、发光层,形成由上至下贯穿P型层、发光层、直到N型层的台阶;沉积绝缘材料覆盖所述台阶侧面、所述N型层和所述P型层,通过刻蚀P型层表面的绝缘材料形成银迁移阻挡层和窗口,每个窗口底部暴露出P型层;在所述每个窗口形成金属功能层。 |
地址 |
310018 浙江省杭州市杭州经济技术开发区白杨街道10号大街300号 |