发明名称 一种LED芯片及其相应的制作方法
摘要 本发明提出一种LED芯片,至少包括:外延层,所述外延层包括N型层、位于所述N型层上的发光层、及位于所述发光层上的P型层;金属功能层,所述金属功能层位于所述P型层上;银迁移阻挡层,所述银迁移阻挡层位于所述P型层上,且位于所述金属功能层外围。本发明还提供了LED芯片的制作方法,以解决反射镜层的扩散和电迁移,改善LED的可靠性。
申请公布号 CN102646765A 申请公布日期 2012.08.22
申请号 CN201210135397.6 申请日期 2012.05.03
申请人 杭州士兰明芯科技有限公司 发明人 张昊翔;封飞飞;高耀辉;万远涛;金豫浙;李东昇;江忠永
分类号 H01L33/00(2010.01)I;H01L33/44(2010.01)I 主分类号 H01L33/00(2010.01)I
代理机构 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人 郑玮
主权项 一种LED芯片的制作方法,其特征在于,包括如下步骤:提供一衬底,在所述衬底的表面上形成外延层,所述外延层由下至上依次沉积包含有N型层、发光层和P型层;刻蚀P型层、发光层,形成由上至下贯穿P型层、发光层、直到N型层的台阶;沉积绝缘材料覆盖所述台阶侧面、所述N型层和所述P型层,通过刻蚀P型层表面的绝缘材料形成银迁移阻挡层和窗口,每个窗口底部暴露出P型层;在所述每个窗口形成金属功能层。
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