一种微波匀胶装置及匀胶方法

摘要

本发明涉及利用微波能干燥半导体的技术领域，具体涉及一种微波匀胶装置。所述微波匀胶装置，包括微波谐振腔、微波源、波导管、电机、真空泵和控制面板；微波源固定在控制面板的控制电路上，微波源通过波导管与微波谐振腔连接；微波谐振腔内设有真空吸盘，真空泵通过管路与真空吸盘的吸嘴相连，电机的输出轴与真空吸盘连接；微波谐振腔上端为拉门式封闭头，拉门式封闭头上设有光刻胶滴管。本发明还提供一种微波匀胶方法。本发明集预烘、匀胶、干燥于一体，在微波照射过程中，光刻胶自身发热，在溶剂挥发的同时光刻胶整体处于熔融状态，极大的改善了胶膜的表面平坦化，其后续精准曝光度也会大大提高。同时本发明的干燥时间较短，降低了能量消耗。

主权项

一种微波匀胶装置，其特征在于：包括微波谐振腔、微波源、波导管、电机、真空泵和控制面板；所述微波源固定在所述控制面板的控制电路上，所述微波源通过所述波导管与所述微波谐振腔连接；所述微波谐振腔内设有真空吸盘，所述真空泵通过管路与所述真空吸盘的吸嘴相连，所述电机的输出轴与所述真空吸盘连接；所述微波谐振腔上端为拉门式封闭头，所述拉门式封闭头上设有光刻胶滴管。