一种组合式磁控溅射靶材

摘要

本实用新型公开一种提高利用率的可拆卸的组合式靶材，广泛应用于薄膜太阳能电池低温沉积导电膜层，属于太阳能磁控溅射设备技术领域。其特征在于将靶材划分多个溅射区域，在溅射区域的两头端部，其溅射轨道沟槽最深，中间直道靶材溅射轨道沟槽部分的靶材件是拼接靶材组合件。本实用新型有效提高了靶材的利用率，结构简单，安装更换方便。

主权项

一种组合式磁控溅射靶材，由两头端部靶材和中间直道靶材、金属板衬垫和背板构成，其特征在于将靶材划分多个溅射区域，在溅射区域的两头端部，其溅射轨道沟槽最深，中间直道靶材溅射轨道沟槽部分的靶材件是拼接靶材组合件，且两头端部靶材厚度大于或等于中间直道靶材厚度。