基于PVDF的三维谐振触发测头

摘要

本实用新型公开了一种基于PVDF的三维谐振触发测头，其特征是采用PVDF压电薄膜作为具有简支梁结构的振动梁，将压电薄膜左右两端分别固定在两个相同结构的压电驱动器的外侧，压电驱动器的内侧对称固定设置在T型测头架的两侧，在压电薄膜的下表面的位置处固定设置一体式微测杆测头；以正弦交流信号施加于压电驱动器上作为励振信号，驱动压电薄膜带动一体式微测杆测头工作于谐振状态；设置由压电薄膜所带动的一体式微测杆测头在试样的表面进行Z向测试为轻敲模式；在试样侧部进行X向和Y向测试为摩擦模式；检测PVDF压电薄膜的极化表面差动电荷信号的变化用以表征一体式微测杆测头与试样的触碰程度。本实用新型可应用于各种高精度、微测量力的软材料、微器件、超精密光学器件等三维形貌测量。

主权项

一种基于PVDF的三维谐振触发测头，其特征是：采用PVDF压电薄膜(1)作为具有简支梁结构的振动梁，将所述PVDF压电薄膜(1)的左右两端分别固定在两个相同结构的压电驱动器(2)的外侧，所述两个相同结构的压电驱动器(2)的内侧对称固定设置在T型测头架(3)的两侧，在所述PVDF压电薄膜(1)的下表面的中央位置处固定设置一体式微测杆测头(4)；以正弦交流信号施加于所述压电驱动器(2)上作为励振信号，驱动所述PVDF压电薄膜(1)带动一体式微测杆测头(4)工作于谐振状态；设置由所述PVDF压电薄膜(1)所带动的一体式微测杆测头(4)在试样(5)的表面进行Z方向的测试为轻敲模式；设置由所述PVDF压电薄膜(1)所带动的一体式微测杆测头(4)在试样(5)的侧部进行X方向和Y方向的测试为摩擦模式；检测PVDF压电薄膜(1)的极化表面差动电荷信号的变化用以表征所述一体式微测杆测头(4)与试样的触碰程度。