发明名称 一种向剂量控制器中输入工艺参数的方法及装置
摘要 本发明公开了一种向剂量控制器中输入工艺参数的方法及装置,以解决现有技术由于人为因素向剂量控制器输入工艺参数的准确性较低而导致产品报废率较高的问题。该方法包括:在工艺参数存储设备中以菜单的形式存储工艺参数,当输入设备输入表征向剂量控制器输入工艺参数的输入请求时;处理器设备根据所述输入请求从所述工艺参数存储设备中获取相应的菜单,并向所述模拟按键电路设备发送输入该菜单工艺参数的指令;模拟按键电路设备,用于根据所述处理器设备发送的指令,向剂量控制器输入所述菜单中的工艺参数。采用本发明技术方案提高了向剂量控制器输入工艺参数的准确性,从而降低了产品报废率。
申请公布号 CN102096377B 申请公布日期 2012.08.22
申请号 CN200910241841.0 申请日期 2009.12.10
申请人 北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司 发明人 林伟旺
分类号 G05B19/04(2006.01)I 主分类号 G05B19/04(2006.01)I
代理机构 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 代理人 郭润湘
主权项 一种向剂量控制器中输入工艺参数的装置,其特征在于,包括输入设备、中央处理器设备、工艺参数存储设备以及模拟按键电路设备,其中:工艺参数存储设备,用于以菜单形式存储工艺参数;输入设备,用于输入表征向剂量控制器输入工艺参数的输入请求,该输入请求携带有待输入工艺参数的菜单的标识信息;中央处理器设备,用于根据所述标识信息从所述工艺参数存储设备中获取与标识对应的菜单,向所述模拟按键电路设备发送输入工艺参数的指令;模拟按键电路设备,用于根据所述指令向剂量控制器输入所述菜单中的工艺参数;还包括运行记录存储设备;所述中央处理器设备进一步用于,在向所述剂量控制器输入工艺参数之后,启动运行记录存储设备;运行记录存储设备,用于记录所述菜单被调用的起始时间、停止时间以及该菜单的标识信息。
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