一种制备金属钯合金膜的化学共沉积方法

摘要

一种制备钯合金膜的化学共沉积方法，是在化学镀金属钯的过程中将掺杂金属的络合物溶液添加到金属钯的镀液中，而不是在化学镀之前混合。本发明通过控制共沉积镀液中易于被优先还原的金属离子的浓度，从而实现钯和掺入金属同时且均匀地沉积的制备钯合金膜。利用本方法能够一次制备出致密且具有精确目标组成的钯合金膜，有效降低合金膜制备的劳动强度，显著地提高了钯银合金膜制备的成功率和重复率；该方法所得钯合金膜能够成数量级地减少高温合金化时间，节省电能、高纯氢和实验时间，同时也将显著延长合金膜的实际服役时间。

主权项

一种制备钯合金膜的化学共沉积方法，在化学镀金属钯的过程中将掺杂金属的络合物溶液添加到金属钯的镀液中；1)钯镀液配制：称量乙二胺四乙酸二钠5.5g溶于20ml水中，再分别量取含20g Pd/l的PdCl2溶液3.0ml，28％的NH3H2O 40ml依次倒入EDTA水溶液的烧杯中，稀释至80ml，pH值11，温和搅拌1小时，在化学镀开始前加入浓度为0.65mol/l的N2H4 2.5ml；2)银镀液配制：称量乙二胺四乙酸二钠1g溶于5ml水中，再依次添加含20g Ag/l的AgNO3溶液0.75ml，28％NH3H2O 10ml，稀释至20ml；3)将钯陶瓷管载体先后浸渍于活化液OPC‑50 Inducer和还原剂OPC‑150 Cryster MU的稀释溶液中进行活化种核，循环至表面呈均匀深灰色；4)钯镀液置于60℃恒温水浴中，匀速搅拌，将活化后的载体浸渍于钯镀液中，同时通过计量泵向钯镀液中匀速注入银镀液，进料速率0.17ml/min，反应3小时后取出钯银膜，在沸水中清洗1小时后放入烘箱烘干称重。