气体清洁的方法和设备

摘要

一种用于从带粒气体（FG）分离粒子（P0、P1）的方法，包括：-通过对带粒气体（FG）的粒子（P0）充电而形成带电粒子（P1），-通过由流动引导结构（30）引导所述带粒气体（FG）来提供气体射流（JET1），-以及通过电场（E1）从所述气体射流（JET1）收集粒子（P1）到集电极（10），其中所述集电极（10）的有效收集区域（EFFZ）定位为所述有效收集区域（EFFZ）的每个点处的气体速度梯度（Δv/Δy）小于所述气体射流（JET1）中的最大气体速度（VMAX）除以所述射流的高度尺寸（d1’）的10%。

主权项

一种气体清洁设备（500），包括：‑ 充电单元（150），其设置为通过对带粒气体（FG）的粒子（P0）充电而形成带电粒子（P1）；‑ 流动引导结构（30），其设置为通过引导所述带粒气体（FG）而提供气体射流（JET1）；以及‑ 集电极（10），其具有设置为通过电场（E1）从所述气体射流（JET1）收集粒子（P1）的有效收集区域（EFFZ），其中所述有效收集区域（EFFZ）定位成所述有效收集区域（EFFZ）的每个点处的气体速度梯度（Δv/Δy）小于或等于所述气体射流（JET1）的最大气体速度（VMAX）除以所述射流的高度尺寸（d1’）的10%，所述高度尺寸（d1’）在所述流动引导结构（30）的位置处确定。