一种四氯化硅进料增压系统及其增压方法

摘要

本发明一种四氯化硅进料增压系统及其增压方法涉及的是为生产光纤预制件时原料四氯化硅进料增压，尤其是通过增加一套增压系统，实现远距离送料的方法。包括两个四氯化硅增压罐、一个氮气加压罐、两个重量电子秤、若干个电磁阀和PLC可编程控制器；在两个四氯化硅增压罐下部分别装有重量电子秤，或在两个四氯化硅增压罐内部分别装有液位计，四氯化硅增压罐上部分别装有氮气管道、进料管道和出料管道。该方法首先将四氯化硅原料储罐内的四氯化硅通过氮气加压，将四氯化硅液体送至两个四氯化硅增压罐，再通过氮气加压罐给其中一个四氯化硅增压罐内的四氯化硅通过氮气增加压力，将四氯化硅压送至四氯化硅沉积设备实现工艺送料。

主权项

一种四氯化硅进料增压系统，其特征在于包括两个四氯化硅增压罐、一个氮气加压罐、两个重量电子秤或两个液位计、若干个电磁阀和PLC可编程控制器；在两个四氯化硅增压罐下部分别装有重量电子秤，或在两个增压罐内部分别装有液位计，四氯化硅增压罐上部分别装有氮气管道，进料管道和出料管道，其中一个四氯化硅增压罐一的氮气管道进口端装有电磁阀一，电磁阀一通过管道与氮气加压罐相连；四氯化硅增压罐一的进料管上装有电磁阀二，电磁阀二通过管道与四氯化硅原料储罐相连；四氯化硅增压罐一的出料口上装有电磁阀三，电磁阀三通过管道与沉积设备相连；四氯化硅增压罐二的氮气管道进口端装有电磁阀四，电磁阀四通过管道与氮气加压罐相连；四氯化硅增压罐二进料管上装有电磁阀五，电磁阀五通过管道与四氯化硅原料储罐相连；四氯化硅增压罐二的出料管装有电磁阀六，电磁阀六通过管道与沉积设备相连；所述电磁阀一、电磁阀二、电磁阀三、电磁阀四、电磁阀五、电磁阀六通过控制线，分别与PLC可编程控制器相连，通过PLC可编程控制器控制开闭；所述四氯化硅增压罐一和四氯化硅增压罐二耐压大于4KPa。