发明名称 半导体设备及其制造方法
摘要 本发明提供了一种半导体设备及其制造方法。按照本发明的一个方面,半导体设备包括:在一个衬底上的象素部分,包括至少一个第一n沟道型薄膜晶体管和至少一个电镀的源布线,该n沟道型薄膜晶体管包括在一个绝缘表面上的一个半导体层,在该半导体层上的一个绝缘薄膜和在该绝缘薄膜上的一个栅极;一个在该衬底上的驱动电路,包括至少第二和第三n沟道薄膜晶体管;一个在该衬底上的电镀的端子部分。
申请公布号 CN102646685A 申请公布日期 2012.08.22
申请号 CN201210110904.0 申请日期 2001.12.11
申请人 株式会社半导体能源研究所 发明人 山崎舜平;小山润;桑原秀明;藤川最史
分类号 H01L27/12(2006.01)I;H01L21/77(2006.01)I;G02F1/1362(2006.01)I 主分类号 H01L27/12(2006.01)I
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人 朱海煜
主权项 一种半导体设备,包括:在衬底上的像素部分,包括至少一个p沟道薄膜晶体管和至少一个电镀的源布线:在所述衬底上的驱动电路,包括至少第二和第三p沟道薄膜晶体管;以及在所述衬底上的电镀的端子部分。
地址 日本神奈川县厚木市
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