用于等离子处理装置的挡板

摘要

本外观设计产品的名称为“用于等离子处理装置的挡板”。本外观设计产品用于在用于制造半导体的等离子处理装置的室中引导气流。本外观设计的设计要点在于产品的形状。指定设计1立体图1用于出版专利公报。指定设计1为基本设计。