Method for producing polycrystalline silicon,申请号EP20080163277-传众专利搜索

发明名称	Method for producing polycrystalline silicon
摘要
申请公布号	EP2036859(B1)	申请公布日期	2012.08.22
申请号	EP20080163277	申请日期	2008.08.29
申请人	SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.	发明人	SHIMIZU, TAKAAKI;OGURO, KYOJI;AOYAMA, TAKESHI
分类号	C01B33/107;C01B33/03;C23C16/24;C30B29/06	主分类号	C01B33/107
代理机构		代理人
主权项
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