| 摘要 |
<p>본 발명에 따른 와류 센서(10)는 반도체 웨이퍼(W) 상에 형성되는 도전성막(6) 부근에 배치된 센서 코일(100) 및 와류를 도전성막(6)에 생성하기 위해 AC 신호를 상기 센서 코일(100)에 공급하도록 구성된 신호원을 구비한다. 상기 와류 센서(10)는 상기 도전성막(6)에서 생성되는 와류를 검출하도록 작동 가능한 검출 회로를 포함한다. 상기 검출 회로는 상기 센서 코일(100)에 연결된다. 와류 센서(10)는 또한 투자율이 높은 재료로 만들어진 하우징(200)을 포함한다. 상기 하우징(200)은 상기 센서 코일(100)을 내부에 수용한다. 상기 하우징(200)은, 센서 코일(100)이 자속(MF)의 경로를 형성하여 도전성막(6)에 와류를 효과적으로 생성시키도록 구성된다.</p> |
