发明名称 功率半导体模块及制造功率半导体模块的方法
摘要 本发明名称为功率半导体模块及制造功率半导体模块的方法,涉及功率半导体模块,包括半导体器件(12),尤其是绝缘栅双极晶体管、反向导电绝缘栅双极晶体管或双模绝缘栅晶体管,具有发射电极和集电极,将导电上层(14)烧结到发射电极,上层(14)至少部分地能够与半导体器件(12)的半导体形成共晶体,且至少部分地具有如下热膨胀系数:与半导体的热膨胀系数相差的范围是≤250%、尤其是≤50%,以及将导电基板(20)烧结到集电极。半导体模块(10)还包括与基板(20)电隔离且经由直接电连接(22)连接到上层(14)的导电区(24)。根据本发明的半导体模块易于制备,具有改进可靠性且呈现短路故障模式能力。
申请公布号 CN102646667A 申请公布日期 2012.08.22
申请号 CN201210046920.8 申请日期 2012.02.17
申请人 ABB研究有限公司 发明人 柳春雷;N·舒尔茨;S·基辛
分类号 H01L23/62(2006.01)I;H01L23/488(2006.01)I;H01L23/051(2006.01)I;H01L25/07(2006.01)I;H01L21/50(2006.01)I 主分类号 H01L23/62(2006.01)I
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人 汤春龙;朱海煜
主权项 一种功率半导体模块,包括半导体器件(12),尤其是绝缘栅双极晶体管、反向导电绝缘栅双极晶体管或者双模绝缘栅晶体管,其具有发射电极和集电极,其中导电上层(14)通过烧结接合连接到发射电极,所述上层(14)的材料至少部分地能够与所述半导体器件(12)的材料形成共晶体,并且所述上层(14)至少部分地具有如下热膨胀系数:该热膨胀系数与所述半导体器件的热膨胀系数相差的范围是≤250%、尤其是≤50%,以及其中导电基板(20)通过另一个烧结接合连接到所述集电极,以及其中所述功率半导体模块(10)还包括与所述基板(20)电绝缘并且经由直接电连接(22)连接到所述上层(14)的导电区(24)。
地址 瑞士苏黎世