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发明名称
摘要
申请公布号 JP5004611(B2) 申请公布日期 2012.08.22
申请号 JP20070034197 申请日期 2007.02.15
申请人 发明人
分类号 H01L21/677;H01L21/027;H01L21/304 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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