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发明名称
摘要
申请公布号 JP5007053(B2) 申请公布日期 2012.08.22
申请号 JP20060046182 申请日期 2006.02.23
申请人 发明人
分类号 H01L21/677;F24F7/06;H01J37/20;H01L21/02 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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