硅棒加工用轮刷

摘要

一种硅棒加工用轮刷，包括固定在带有进水孔底盘上的刷毛，刷毛通过胶水和胶体层固化成整体，所述刷毛被分割成有间隙槽的刷毛块，刷毛块外周边有和刷毛块固化成整体的箍带，胶体层与底盘固定成整体，底盘上进水孔和刷毛块一一对应。冷却水通过间隙槽流入刷毛，渗透、降温效果好，刷毛不易结块，同时冷却水沿着间隙槽集中定向流动到刷毛块工作面上，能及时冲刷抛光产生的污物或颗粒及刷毛块上的污垢，箍带保证刷毛高速转动时刷毛不倒伏、不松散始终成束状，抛光去毛刺效果好，不会发生硅棒塌角现象，提高加工硅片的成品率、质量和档次；刷毛块为双重固定连接牢靠，刷毛不易脱落，底盘下有导向槽，冷却水沿轮刷转动切线方向进入导向槽集中利用。

主权项

一种硅棒加工用轮刷，包括固定在带有进水孔(6)的底盘(4)上的刷毛，其特征在于所述刷毛通过胶水和胶体层(1)固化成整体，所述刷毛被分割成有间隙槽(7)的刷毛块(3)，所述刷毛块(3)外周边还有和刷毛块(3)固化成整体的箍带(2)，所述胶体层(1)与所述底盘(4)固定成整体，所述底盘(4)上的进水孔(6)和刷毛块(3)一一对应。