单晶生长炉内腔清洁设备

摘要

本发明公开了一种单晶生长炉内腔清洁设备。它包括基础板、升降组件、旋转组件、水喷洗组件，升降组件装在基础板上，旋转组件装在升降组件的升降支架上，水喷洗组件装在旋转组件的套筒轴上。它的主要特点是结构紧凑，运动灵活自如，臂杆能曲能伸，能上能下，360°圆周作业，用力均衡，擦拭均匀，在高压水射流从顶部五面喷射的配合下，清洁效果极佳。本发明设计简单，容易实现，也可以广泛应用于其它有清洁要求的设备及环境中。

主权项

一种单晶生长炉内腔清洁设备，其特征在于包括基础板（1）、升降组件（2）、旋转组件（3）、水喷洗组件（4），升降组件（2）装在基础板（1）上，旋转组件（3）装在升降组件（2）的升降支架上，水喷洗组件（4）装在旋转组件（3）的套筒轴上；其中，升降组件（2）包括升降支架（5）、丝杠（6）、带轮（7）、轴承（8）、轴承压盖（9）、导轨座（10）、下行程开关(11)、碰块(12)、线性导轨(13)、滚珠导轨(14)、上行程开关(15)、防护罩(16)、上轴承座(17)、对接板(18)、上轴承(19)、锁紧螺母(20)、轴盖(21)、丝杠螺母(22)、丝杠螺母法兰(23)、紧固螺钉(24)；升降支架(5)通过丝杠螺母法兰（23）与丝杠螺母（20）联接成一体，套装在丝杠（6）上，带轮（7）和轴承（8）装在丝杠（6）的下端部，轴承压盖（9）压在轴承（8）端部，导轨座（10）装在基础板（1）上，下行程开关（11）、线性导轨（13）和上行程开关（15）分别装在导轨座（10）的下、中、上部位，碰块（12）和滚珠导轨（14）装在升降支架（5）上，防护罩（16）套在丝杠（6）外面，两端通过对接板（18）分别装在升降支架（5）、上轴承座（17）上，上轴承座（17）装在导轨座（10）的上面，上轴承（19）装在上轴承座（17）的轴承孔中，锁紧螺母（20）装在丝杠（6）的上端，压紧上轴承（19）的内圈，轴盖（21）装在上轴承座（17）的孔口，压紧上轴承（19）的外圈；旋转组件（3）包括套筒轴（25）、填料环（26）、对轴承（27）、轴套（28）、外套筒（29）、轴承座（30）、压套（31）、旋转带轮（32）、多楔带（33）、锁紧圈（34）；填料环（26）、对轴承（27）、轴套（28）和外套筒（29）装在轴承座（30）的内腔体中，套筒轴（25）穿过轴承座（30）的内腔，装在升降支架（5）上，压套（31）压在升降支架（5）的平板下面，旋转带轮（32）和锁紧圈（34）装在套筒轴（25）的下部，多楔带（33）套在旋转带轮（32）上，带动套筒轴（25）旋转；水喷洗组件（4）包括进水管（35）、过渡法兰（36）、分流盲管（37）、内球端螺钉（38）、导向杆(39)、推套盘(40)、O型圈(41)、滑键(42)、铰钉(43)、臂杆(44)、过渡管（45）、挡盘（46）、密封轴承（47）、挡盖（48）、球形喷头（49）、轴密封（50）、小O型密封圈（51）、密封圈（52）、O型密封圈（53）；进水管（35）通过过渡法兰（36）装在分流盲管（37）上，分流盲管（37）通过三个内球端螺钉（38）挂装在套筒轴（25）的下端部，导向杆（39）一端和分流盲管（37）焊接，导向杆（39）另一端和过渡管（45）相连，推套盘（40）内部套导向杆（39），推套盘（40）外部套装在套筒轴（25）的上端部，通过滑键（42）连接，挡盘（46）通过密封轴承（47）装在过渡管（45）上，挡盖（48）装在挡盘（46）的上面，球形喷头（49）装在过渡管（45）的上顶端，臂杆（44）通过铰钉（43）装在推套盘（40）和挡盘（46）上。