发明名称 光学特性测量系统与方法
摘要 一种光学特性测量系统,包括一聚光元件、一用于把持所述聚光元件的把持部、一用于获取光斑的影像处理装置、一用于承放所述影像处理装置的承载台和一测量仪,所述承载台与所述把持部相对并可相对于把持部移动,以调整光线通过所述聚光元件在所述影像处理装置的光斑大小,所述测量仪用于在所述影像处理装置获取最小光斑时,记录所述聚光元件与所述影像处理装置间的距离。上述光学特性测量系统与方法,通过影像处理装置获取影像信息,再通过显示装置观测影像处理装置上的光斑,可以便捷、直观地影像处理装置获得最小光斑的位置,从而准确测得聚光元件的实际焦距。
申请公布号 CN102103034B 申请公布日期 2012.08.22
申请号 CN200910311948.8 申请日期 2009.12.21
申请人 富士迈半导体精密工业(上海)有限公司;沛鑫能源科技股份有限公司 发明人 叶肇懿;黄仲志;颜荣毅
分类号 G01M11/02(2006.01)I 主分类号 G01M11/02(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种光学特性测量系统,其特征在于:所述测量系统包括一聚光元件、一用于把持所述聚光元件的把持部、一用于获取光斑的影像处理装置、一用于承放所述影像处理装置的承载台和一测量仪,所述承载台与所述把持部相对并可相对于把持部移动,以调整光线通过所述聚光元件在所述影像处理装置的光斑大小,所述测量仪用于在所述影像处理装置获取最小光斑时,记录所述聚光元件与所述影像处理装置间的距离。
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