| 摘要 |
Vorrichtung zur nichtlinearen Steuerung eines Plasmaprozesses in einer Plasmaanlage, wobei die Vorrichtung dazu eingerichtet ist, – mehrere Prozessgrößen Gi des Plasmaprozesses zu erfassen, – aus den erfassten mehreren Prozessgrößen Gi gemäß einem nichtlinearen Modell mindestens eine Plasmakenngröße Pj zu berechnen und eine Abweichung der Plasmakenngröße Pj von einem vorgegebenen Sollwert Pj,soll zu bestimmen, – in Abhängigkeit von der berechneten Abweichung Steuersignale zur Regelung der Prozessgrößen Gi zu erzeugen, und – das Erfassen der Prozessgrößen Gi, das Berechnen der Plasmakenngröße Pj und das Erzeugen der Steuersignale zu wiederholen, bis die Plasmakenngröße Pj innerhalb eines vorgegebenen Toleranzbereichs &Dgr;Pj mit dem Sollwert Pj,soll übereinstimmt.
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