| 摘要 |
<p>본 발명의 과제는, 열적 처리 유니트의 풋 프린트를 억제할 수 있고 반송 로보트를 사용하는 경우 없이 FPD 기판의 대형화에도 대응 가능한 가열·냉각 처리 장치를 제공하는 기술을 제공하는 것이다. 본 발명은 가열·냉각 처리 장치 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법에 관한 것으로서, 기판(G)를 적재한 상태로 승강 장치(81)의 벨트 구동 기구(101a,101b)에 의해 기판(G)를 적재한 팔레트(P)는 가열 처리실(38) 내를 소정 속도로 상승해 나간다. 기판(G)는 가열 처리실(38) 내를 상승하는 과정에서 소정 시간 들여 가열된다. 팔레트(P)는 가열 처리실(38)의 상부에 도달하면 승강 장치(81)의 팔레트 지지부(107)로부터 칸막이벽(80)의 상부 개구(80a)를 통해 냉각 처리실(39)의 승강 장치(82)의 벨트 구동 기구(101c, 101d)의 최상위의 팔레트 지지부(107)에 반송된다. 그리고 승강 장치(82)의 벨트 구동 기구(101c, 101d)에 의해 냉각 처리실(39) 내를 소정 속도로 하강하면서 냉각 처리된다.</p> |
