一种用于蓝宝石衬底的研磨液及其制备方法

摘要

本发明涉及蓝宝石晶体的研磨工序，属于晶体材料的加工技术领域。本发明提供了一种用于高质量蓝宝石衬底的研磨液，该研磨液由金刚石微粉、辅助性研磨粉、去离子水、甘油和添加剂配置而成。利用此方法配置的研磨液分散均匀，化学稳定性好；采用此方法配置的研磨液对蓝宝石晶体进行研磨，在保证衬底表面质量的前提下，提高研磨效率，有效地降低了加工成本。采用本发明的研磨液进行研磨的蓝宝石衬底表面粗糙度低、平整度好、无明显划痕且易于清洗，符合工业生产的需求。

主权项

一种用于蓝宝石衬底的研磨液，其特征在于：该研磨液按每10升混合溶剂∶1～4升添加剂∶200～1200克混合研磨粉的配比关系混合而成；所述的混合溶剂由去离子水和甘油组成，去离子水和甘油的体积比为100∶1～10；所述的添加剂的成分包括质量百分比为55‑70％的去离子水、10‑28％的三乙醇胺、2‑6％的十二烷基硫酸钠和3‑18％的丙烯酸聚合物；所述的混合研磨粉为辅助研磨粉与金刚石微粉的混合物，辅助研磨粉与金刚石微粉的质量比为3∶10～60，辅助研磨粉为碳化硅、碳化硼和刚玉中一种或两种或三种的组合。