衍射光学元件及其制造方法

摘要

本发明涉及一种衍射光学元件及其制造方法。形成Al膜，以使得膜形成粒子对于具有多个光栅部分的衍射光栅的光栅壁表面垂直入射，并对于光学有效表面倾斜入射。此后，从将对于光学有效表面垂直入射的方向执行氧化处理，以使得光学有效表面上的Al层变为Al2O3层。因此，在具有多个光栅部分的衍射光栅中，Al2O3层形成在用于透射光的光学有效表面上，Al层形成在作为遮光层的光栅壁表面上。因此，可抑制衍射光学元件的耀斑。

主权项

一种衍射光学元件，包括多个光栅部分，所述多个光栅部分包括连续地形成在其表面上的光栅光学有效表面和光栅壁表面，其中：所述多个光栅部分的各个光栅光学有效表面包括形成在其上的Al2O3层；并且所述多个光栅部分的各个光栅壁表面包括形成在其上的Al层。