一种双通道光谱能量调谐滤光片

摘要

一种双通道光谱能量调谐滤光片，用电子蒸发法在基底层镀上一层厚度为160nm的均匀二氧化铪膜层，用旋涂法在二氧化铪膜层上镀上一层厚度为227nm的光刻胶并烘干，再在光刻胶层上用曝光和显影技术制作高低折射率材料为光刻胶和入射媒质的光栅，即得到双通道光谱能量调谐滤光片。通过调节方位角可以实现在双通道调谐反射光谱能量。本发明实施方便、窄带光谱，可广泛应用于光学仪器、光学探测、光学测量及生物医学等领域。

主权项

一种双通道光谱能量调谐滤光片，其特征在于：用电子蒸发法在基底层镀上一层厚度为160nm的均匀二氧化铪膜层，用旋涂法在二氧化铪膜层上镀上一层厚度为227nm的光刻胶并烘干，再在光刻胶层上用曝光和显影技术制作高低折射率材料为光刻胶和入射媒质的光栅，即得到双通道光谱能量调谐滤光片，通过调节方位角实现双通道调谐反射光谱能量；所述光栅的具体参数为：光栅周期409nm，占空比0.3，光栅槽深134nm，光栅高低折射率材料分别是光刻胶和空气，对应折射率分别为1.63和1.0，二氧化铪膜层作为波导层，折射率为1.98。