氢化四氯化硅流化床反应器

摘要

本实用新型提供一种氢化四氯化硅流化床反应器，包括有自下而上依次相连的反应段、分离段，于所述反应器的顶端设物料进口、混合气出口；所述混合气出口下端设有分离器；于所述反应器的底端还装设有检修封头，所述检修封头上装设有混合气进口和排渣口；所述检修封头和反应段之间设有气体分布盘。本实用新型氢化四氯化硅流化床反应器能有效氢化SiCl4，生成多晶硅的原材料SiHCl3，具有转化率高、能耗低等优点，同时使多晶硅生产过程形成一个闭合链，有效地提高了经济效益，减少了环境污染。

主权项

氢化四氯化硅流化床反应器，包括自下而上依次相连的反应段和分离段，于所述反应器的顶端设有物料进口、混合气出口，所述混合气出口下端设有分离器；于所述反应器的底端还装设有检修封头，所述检修封头上装设有混合气进口和排渣口；所述检修封头和反应段之间设有气体分布盘。