用于微通道中电场强化换热性能测试装置及其测试方法

摘要

一种微电子技术领域的用于微通道中电场强化换热性能测试装置及其测试方法，包括：一对夹板、一对玻璃盖板、一对电极、侧视窗、微加热器、电流表、电压表、驱动电源和测试电源，其中：微加热器和侧视窗位于两块玻璃盖板之间，两个电极分别位于两块玻璃盖板的下表面，两块夹板分别固定设置于两块玻璃盖板的外侧，微加热器的两端分别与电流表和驱动电源相串联，电压表并联于驱动电源两端，两个电极分别与测试电源和大地相连。本装置的电场线方向可与微加热器表面垂直，并能够实现从侧面直接观察沸腾汽泡的动态特性，而且能对观测角度进行切换，从而更全面地观测电场强化下微通道沸腾汽泡的动态特性，有利于对电场作用下沸腾汽泡运动特性的研究。

主权项

一种用于微通道中电场强化换热性能测试装置，包括：一对夹板、一对玻璃盖板、一对电极、侧视窗、微加热器、电流表、电压表、驱动电源和测试电源，其中：微加热器和侧视窗位于两块玻璃盖板之间，两个电极分别位于两块玻璃盖板的下表面，两块夹板分别固定设置于两块玻璃盖板的外侧，微加热器的两端分别与电流表和驱动电源相串联，电压表并联于驱动电源两端，两个电极分别与测试电源和大地相连；所述的侧视窗包括两块平行放置的光学玻璃。