发明名称 POWDER CARTRIDGE
摘要 <p>본 발명에 따른 분말 카트리지는, 내부에 분말이 주입되는 에어로졸 유지실; 상기 에어로졸 유지실에 장착된 분사 노즐; 상기 에어로졸 유지실 내의 유체를 강제유동시키는 순환장치; 및, 상기 순환장치에 의하여 에어로졸 상태가 된 상기 분말을 분사하는 분사 노즐을 포함하고, 본 발명에 따른 분말 카트리지를 사용함으로써, 바이패스 라인을 구비하지 않아도 분말의 분사 속도를 확보할 수 있을 뿐만 아니라, 분말의 교차오염을 최소화 할 수 있다.</p>
申请公布号 KR101175542(B1) 申请公布日期 2012.08.22
申请号 KR20090097289 申请日期 2009.10.13
申请人 发明人
分类号 H01L21/02;H01L21/027 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利