| 摘要 |
于图案形成装置中，在自喷嘴部421之复数个吐出口422吐出具有光硬化性之图案形成材料80期间，于喷嘴部421及光照射部43沿着基板9移动之方向上，使喷嘴部421前行且相对于基板9相对连续地移动，并且光罩移动机构45使光罩46在光照射部43与基板9之间以平行于基板9之方式移动。于光罩46上二维地排列设定有透过率呈现不规则地不同之复数个矩形区域，以使基板9上之照射区域的照射光之照度分布经时不规则地变化。藉此可实现由于复数个吐出口422之不均匀性等而于基板9上混杂地形成宽度不同之隔壁时所产生的隔壁图案不均之抑制作用。 |
