电镀制程中之原位轮廓测量

摘要

本发明揭示一种用以测量在一电化学电镀电池中电解质的差动电压之方法与设备。电流密度系自所测量的差动电压被计算出且被关联至被镀覆材料之厚度值。一即时厚度轮廓可以自该些厚度值被产生。