脆性基板之传送设备

摘要

提供一种传送脆性基板之传送设备，当使用一传送带传送基板时，能防止传送带下方污染。脆性基板之传送设备包括运送待切割脆性基板之传送装置，以及驱动传送装置之马达部件，其中，传送装置包含沿环状路径运转以传送脆性基板之传送部件、用以支撑传送带部件之传送带支撑部件、以及用以抽吸传送带部件下方污染物之抽吸部件。;因此，可减少于传送带下方之污染物，且当传送带运转时可改善传送性能。