具有差异性掺杂之太阳能电池的单次扩散制造方法

摘要

一种具有差异性掺杂之太阳能电池的单次扩散制造方法包含下列步骤：首先提供一基材，并在其上形成一掺杂浓度控制层。掺杂浓度控制层至少包含复数个开口形成于其中。接着进行掺杂制程，使得位于掺杂浓度控制层之开口下方的基材，形成重掺杂区，并使基材的其他区域形成轻掺杂区。