配置有可充气支撑件模组之前开式晶圆盒

摘要

一种前开式晶圆盒，包括一盒体，系由一对侧壁、一顶面及一底面所组成，并于一侧边形成一开口，而相对开口之另一侧边形成一后壁，同时于每一侧壁上各配置一支撑件模组，以容置复数个晶圆；以及一门体，系以一内表面与盒体之开口相结合，并用以保护盒体内部之复数个晶圆，其中前开式晶圆盒之特征在于：盒体之每一侧壁与后壁相邻的地方，各配置一可充气支撑件模组，可充气支撑件模组之面对开口方向上，再配置有一长缝且于可充气支撑件模组之一端配置一进气口与底面之一气阀连接，其中可充气支撑件模组系由复数个垂直间隔排列的支撑肋所组成。