| 摘要 |
칼코게나이드 원소와 Vb 족 원소의 원소를 함유하고, 각 원소로 이루어지는 원료 분말 또는 2 이상의 원소로 이루어지는 합금의 원료 분말을 혼합하고, 당해 혼합 분말을 (식) P (압력){Pf / (Tf - T)} × (T - T) + P, (Pf : 최종 도달 압력, Tf : 최종 도달 온도, P: 대기압, T : 가열 온도, T: 실온, 온도는 섭씨 온도) 를 만족하는 조건으로, 핫프레스하는 것을 특징으로 하는 소결체의 제조 방법. 스퍼터링 타겟-백킹 플레이트로서 조립하여 사용했을 경우에도 균열이 발생되지 않는, 고밀도 또한 고강도인 대구경의 칼코게나이드 원소 (A) 와 Vb 족 원소 (B) 또는 이들에 추가로 IVb 족 원소 (C) 및/또는 첨가 원소 (D) 를 함유하는 소결체의 제조 방법, 당해 소결체, 당해 소결체로 이루어지는 스퍼터링 타겟 및 스퍼터링 타겟-백킹 플레이트 조립체를 제공한다. |
