清洗半导体晶圆的方法与装置

摘要

一种用于清洗晶圆或基板表面的装置，包括一放置于与晶圆或基板表面有一间隔的板，并且该板围绕着与晶圆或基板的表面垂直的轴而旋转。该旋转板的面向晶圆或基板表面的表面具有凹槽、规则图形或者不规则图形，以提高清洗的效率。另一个实施例还包含了一超声波或兆声波换能器，其在清洗的过程中振动该旋转板。