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发明名称 Reflector, optical element, interferometer system, stage device, exposure apparatus, and device fabricating method
摘要
申请公布号 US8248616(B2) 申请公布日期 2012.08.21
申请号 US11475034 申请日期 2006.06.27
申请人 发明人
分类号 G01B0009/000002 主分类号 G01B0009/000002
代理机构 代理人
主权项
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