发明名称 LAMINAR FLOW TANK
摘要
申请公布号 KR20120092637(A) 申请公布日期 2012.08.21
申请号 KR20127012689 申请日期 2010.11.16
申请人 XYRATEX TECHNOLOGY LIMITED 发明人 MILLER KENNETH C.
分类号 H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
地址