发明名称 METHOD FOR CREATING A CRYSTALLINE AREA OF METAL, IN PARTICULAR IN AN INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 KR20120092547(A) 申请公布日期 2012.08.21
申请号 KR20127002001 申请日期 2010.07.01
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIESALTERNATIVES 发明人 CAYRON CYRIL;MAITREJEAN SYLVAIN
分类号 H01L21/768;H01L21/324 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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