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发明名称
METHOD FOR CREATING A CRYSTALLINE AREA OF METAL, IN PARTICULAR IN AN INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号
KR20120092547(A)
申请公布日期
2012.08.21
申请号
KR20127002001
申请日期
2010.07.01
申请人
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIESALTERNATIVES
发明人
CAYRON CYRIL;MAITREJEAN SYLVAIN
分类号
H01L21/768;H01L21/324
主分类号
H01L21/768
代理机构
代理人
主权项
地址
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