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发明名称 Substrate transfer holder
摘要
申请公布号 USD665759(S1) 申请公布日期 2012.08.21
申请号 US201129393919F 申请日期 2011.06.10
申请人 SATO NORIFUMI;TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 SATO NORIFUMI
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
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