| 摘要 |
<p>고정밀도로 광학부품의 성능을 평가할 수 있는 검사방법을 제공한다. 검사방법에서는, 광학부품(18)을 통과한 광(16)으로부터, 서로 다른 위상을 가지는 제1 및 제2 광(24, 26)을 형성하고, 제1 및 제2 광을 간섭시켜서 간섭영역(30)을 형성한다. 간섭영역(30)에 직선(66, 70, 72)을 설정하고, 각 직선(72) 위에서 광 강도의 분포를 구한다. 또한, 최대 광 강도에 대응하는 주파수를 구한다. 또한, 직선(72)의 각각에 대해서 구한 복수의 주파수로부터 근사 직선 또는 근사 곡선을 구한다. 그리고 근사된 직선 또는 곡선의 계수를 바탕으로 광학부품의 수차를 평가한다.</p> |
