| 摘要 |
<p>본 발명이 해결하려는 과제는 미세유로채널에 유입된 유체의 굴절률 변화를 이용하여 정확한 유량을 측정할 수 있는 유체센서를 제공하는 것이다. 본 발명 굴절률 변화를 이용한 유체센서는 미세유로채널에 광을 조사하기 위한 광원과; 상기 광원으로 부터 방출된 광이 미세유로채널 내부에 존재하는 유체 또는 기포에 의해 굴절되어 변화된 광량을 검출하기 위한 광검출기로 구성된 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 미세유로채널 내부에 유입된 유체에 기포가 존재하는지 여부를 용이하게 알 수 있는 장점이 있다. 또한, 미세유로채널 내부에 유입된 유체에 일정부피의 기포를 주입하여 유체의 정확한 유속을 측정할 수 있으며, 상기 측정된 유속을 이용하여 미세유로채널 내부에 유입된 유체에 기포가 존재하는 경우에도 유체의 정확한 유량을 측정할 수 있으므로 미세유로채널에 유입된 유체의 유속과 유량을 정확하게 측정하여 제어할 수 있는 장점이 있다.</p> |
