| 摘要 |
<p>본 발명은 식각 CD의 변화를 최소화하여 미세 패턴을 형성하도록 인쇄판의 제조방법에 관한 것으로서, 절연 기판상에 개구부를 갖는 하드 마스크를 형성하는 단계와, 상기 하드 마스크로 상기 절연 기판에 제 1 깊이를 갖는 제 1 트랜치를 형성하는 단계와, 상기 제 1 트랜치를 포함한 절연 기판의 전면에 제 1 식각 방지층 및 제 1 포토레지스트를 차례로 형성하는 단계와, 상기 하드 마스크를 마스크로 상기 제 1 포토레지스트에 전면 노광 및 현상하여 패터닝하는 단계와, 상기 하드 마스크를 마스크로 상기 절연 기판에 상기 제 1 깊이보다 깊은 제 2 깊이를 갖는 제 2 트랜치를 형성하는 단계와, 상기 제 2 트랜치를 포함한 절연 기판의 전면에 제 2 식각 방지층 및 제 2 포토레지스트를 차례로 형성하는 단계와, 상기 하드 마스크를 마스크로 상기 제 2 포토레지스트에 전면 노광 및 현상하여 패터닝하는 단계와, 상기 하드 마스크를 마스크로 상기 절연 기판에 상기 제 2 깊이보다 깊은 제 3 깊이를 갖는 제 3 트랜치를 형성하는 단계와, 상기 하드 마스크와 제 1, 제 2 식각 방지층 및 제 1, 제 2 포토레지스트를 제거하는 단계를 포함하여 형성함을 특징으로 한다.</p> |
