| 摘要 |
<p>본 발명은 구리/몰리브데늄(합금)막으로 구성된 금속배선을 식각하기 위한 금속배선 식각용액을 이용한 액정표시장치의 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있는 것으로, 이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 금속배선 식각용액은 조성물 총 중량을 기준으로, 12 내지 35 중량%의 과산화수소, 0.5 내지 5 중량 %의 황산염, 0.5 내지 5 중량%의 인산염, 0.001 내지 0.5 중량%의 조성물에 플르오르 이온을 제공할 수 있는 불화물, 0.1 내지 5 중량%의 수용성 고리형 아민 화합물, 0.1 내지 5 중량%의 킬레이트제 및 전체 조성물 총 중량이 100 중량%가 되도록 하는 탈이온수를 포함하는 것을 특징으로 한다.</p> |
