| 摘要 |
<p>본 발명은 대형 기판의 양산 공정에 더욱 적합하고, 고정세의 패터닝이 가능토록 하기 위한 것으로, 피증착용 기판과 접하고 상기 기판을 지지하는 지지면을 구비한 바디와, 상기 바디에 내장되어 상기 지지면에 정전기력을 생성시키는 전극과, 상기 전극에 전기적으로 연결되고 상기 바디에 구비된 전지를 포함하는 정전 척과, 진공으로 유지되는 복수의 챔버와, 상기 챔버 중 적어도 하나의 내부에 배치되고, 상기 기판과 소정 간격 이격되며, 상기 정전척에 지지된 기판에 박막을 증착하는 적어도 하나의 박막 증착 어셈블리와, 상기 정전 척을 상기 챔버들을 통과하도록 이동시키는 캐리어를 포함하는 박막 증착 장치 및 이를 이용한 유기 발광 표시장치의 제조방법에 관한 것이다.</p> |
