发明名称 POSITION MEASURING SYSTEM AND POSITION MEASURING METHOD, MOBILE BODY DEVICE, MOBILE BODY DRIVING METHOD, EXPOSURE DEVICE AND EXPOSURE METHOD, PATTERN FORMING DEVICE, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 HK1142436(A1) 申请公布日期 2012.08.17
申请号 HK20100108717 申请日期 2010.09.14
申请人 NIKON CORPORATION 发明人 MAKINOUCHI, SUSUMU
分类号 G01B;G01D;G03F;H01L 主分类号 G01B
代理机构 代理人
主权项
地址