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发明名称
POSITION MEASURING SYSTEM AND POSITION MEASURING METHOD, MOBILE BODY DEVICE, MOBILE BODY DRIVING METHOD, EXPOSURE DEVICE AND EXPOSURE METHOD, PATTERN FORMING DEVICE, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号
HK1142436(A1)
申请公布日期
2012.08.17
申请号
HK20100108717
申请日期
2010.09.14
申请人
NIKON CORPORATION
发明人
MAKINOUCHI, SUSUMU
分类号
G01B;G01D;G03F;H01L
主分类号
G01B
代理机构
代理人
主权项
地址
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